Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.06a
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- Pages.54-55
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- 2002
Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구
- Choe, Il-Sang ;
- Kim, Gyeong-Won ;
- Kim, Jong-Hwa ;
- Kim, Jong-Hyeop ;
- An, Eun-Jeong ;
- Jeong, Chil-Seong ;
- Kim, Ho-Jeong ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Kim, Nam-Sik ;
- Heo, Sang-Beom
- 최일상 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 김경원 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 김종화 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 김종협 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 안은정 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 정칠성 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 김호정 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 이순영 (하이닉스 반도체 메모리연구소) ;
- 김남식 (하이닉스 반도체 시스템IC연구소) ;
- 허상범 (하이닉스 반도체 시스템IC연구소)
- Published : 2002.06.27
Abstract
Keywords