한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집 Vol.3 No.2
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- Pages.878-881
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- 2002
MCS-BEq에 의한 $SF_6+Ar$ 혼합기체의 에너지 분포함수
Energy Distribution Function for Electrons in $SF_6+Ar$ Mixtures Gas used by MCS-BEq Algorithm
초록
Energy distribution function for electrons in
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