Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2002.07b
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- Pages.711-714
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- 2002
Effect of catalyst configuration on sensing properties of semiconductor gas sensor
반도체식 가스센서의 감지 특성에 미치는 촉매구조의 영향
- Published : 2002.07.08
Abstract
촉매 구조에 따른 반도체식 가스센서의 가스 감지 특성이 고찰되었다. 촉매로는 Pd를 사용하였고, 0.5 ~ 10wt% 의 다양한 농도로 약 15nm 크기의