Analytical Transmission Electron Microscopy(ATEM) Application for Failure Analysis of Random Bit-Fail on ULSI DRAM Device

• Kim, Jong-Hyeop ;
• Choe, Jin-Tae ;
• Choe, Geun-Yeong ;
• Gwon, Tae-Seok ;
• Park, Ju-Cheol ;
• Lee, Sun-Yeong

• 김종협 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 최진태 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 최근영 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 권태석 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 공정BC팀) ;
• 박주철 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 이순영 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀)

• Published : 2002.05.01

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