한국전자현미경학회:학술대회논문집

한국현미경학회 (Korean Society of Microscopy)
권호 표지

Damage reduction of FIB-TEM specimen preparation By using Low keV FIB milling

  • 이승헌 ((주)하이닉스 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
  • 어희주 ((주)하이닉스 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
  • 김원 ((주)하이닉스 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
  • 박주철 ((주)하이닉스 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
  • 이순영 ((주)하이닉스 반도체 메모리연구소 분석개발팀)
  • 발행 : 2002.05.01
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