Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.77-78
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- 2002
Formation of electrode for carrier injection into nano-porous silicon diaphragm and its applications
나노 다공질 실리콘 다이어프램에 캐리어 주입을 위한 전극 형성 및 응용
- Pyo, Seong-Yeol (Korea University) ;
- Kang, Chul-Goo (Korea University) ;
- Kang, Moon-Sik (Korea University) ;
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Hong, Suk-In
(Korea University)
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Min, Nam-Ki
(Korea University)
- Published : 2002.11.09
Abstract
본 논문은 Pt/Ti 박막을 HF-ethanol 혼합 용액에 대한 매스킹 물질과 오믹 전극으로 사용하였다. 다공질 실리콘 층에 정공과 전자의 주입을 용이하게 하기 위해 이온 주입 공정으로 애노드(anode)와 캐소드(cathode) 전극을 실리콘 다이어프램에 구성하였다. 실리콘 다이어프램 영역에 정전압을 인가하여, 전기화학적 방법으로 관통된 PSi 층을 다이어프램 영역에 성장시켰다. 또한, 제작된 소자를 UV에 대한 광 특성을 고찰하였다.
Keywords