Analysis of Linear Ultrasonic Motor by Finite Element Method and Precise Position Control of Linear Ultrasonic Motor by Neural Network

유한요소법을 이용한 선형 초음파 모터의 동작 특성 해석 및 뉴럴 네트웍을 이용한 선형 초음파 모터의 정밀 위치 제어

  • Joo, Hyun-Woo (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Lee, Chang-Hwan (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Rho, Jong-Seok (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Jung, Hyun-Kyo (School of Electrical Engineering, Seoul National University)
  • 주현우 (서울대학교 전기역학연구실) ;
  • 이창환 (서울대학교 전기역학연구실) ;
  • 노종석 (서울대학교 전기역학연구실) ;
  • 정현교 (서울대학교 전기역학연구실)
  • Published : 2002.04.25

Abstract

본 논문에서는 유한 요소법을 압전체에 적용하여 계산한 임피던스 파형을 실험적으로 검증하였으며 이를 선형 초음파 모터에 적용하여 선형 초음파 모터의 공진 특성을 해석하였다. 또한 선형 초음파 모터의 동작 특성 및 공진 모드의 타당성을 검증된 유한 요소법을 이용하여 검증하였으며 인가 전압 및 주파수에 따른 선형 초음파 모터의 속도 특성을 뉴럴 네트웍을 이용한 제어법을 통해 검증하였다. 선형 초음파 모터의 정밀 위치 제어의 가능성을 뉴럴 네트웍을 통한 제어법을 통해 검증하였다.

Keywords