Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.10-13
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- 2002
Si기판상의 BST박막 제조를 위한 MgO 완충층의 제조 및 특성
Abstract
본 논문에서는 P-type (100)Si 기판위에 RF magnetron sputtering법으로 강유전체 BST 박막을 증착하기 위한 완충층용(buffer layer) MgO 박막을 제작하였다. 증착 시 기판온도는
Keywords