한국자기학회:학술대회 개요집 (Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference)
- 한국자기학회 2002년도 동계연구발표회 논문개요집
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- Pages.184-185
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- 2002
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- 2233-9485(pISSN)
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- 2233-9574(eISSN)
Optimizing the Cobalt Deposition Condition using the Experiment Design
- Cheong, Seonghwee (The University of Seoul) ;
- Song, Ohsung (The University of Seoul)
- 발행 : 2002.12.01
초록
최신 강자성 메모리 공정과 실리콘 비메모리 공정에서 Co, Ni, Fe 등 천이금속 계열의 증착 조건이 소자의 특성 향상 및 신뢰성 향상을 위하여 중요성이 점점 중요해 지고 있다. 강자성 메모리(MRAM)의 출현과 함께 Co, Ni, Fe 등의 수십
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