Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference (한국자기학회:학술대회 개요집)
- 2002.12a
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- Pages.124-125
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- 2002
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- 2233-9485(pISSN)
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- 2233-9574(eISSN)
Properties of Boron Carbide Thin Films Deposited by Partially Reactive Magnetron Sputtering
- Lee, K. E. (Chungnam Nat'l University) ;
- Kim, C. O. (Chungnam Nat'l University) ;
- Kim, J. H. (ReCAM) ;
- Lee, J. Y. (R&D center of Semtech co) ;
- Park, M. J. (R&D center of Semtech co) ;
- Lee, C. B. (R&D center of Semtech co.)
- Published : 2002.12.01
Abstract
최근 자성막의 놀은 자기기록 밀도증가에 따른 고밀도 자성기록매체인 하드디스크(HDD)는 현재 80GByte까지의 저장용량을 가진 하드디스크의 자성합금층 보호막으로 DLC(Diamond-Like Carbon)가 이용되고 있다. 고저장용량을 가지는 하드디스크의 보호막 두께가 점차 얇아짐에 따라 보호막 재료의 경도 및 윤활성은 더욱 중요시되고 있다. 그러나, 보호막의 두께가 감소하면서 현재 적용되고 있는 DLC막으로는 조만간 물리적 한계에 도달할 것으로 예상된다. (중략)
Keywords