한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)
권호 표지

질소 가스의 흡입량에 의해 발생되는 진공도의 변화에 따른 건식진공펌프의 소음특성

Noise characteristics of dry vaccum pump according to change of vaccum degree arising from inhalation capacity of $N_2$ Gas

  • 발행 : 2002.11.01
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초록

국내외의 반도체 회사의 반도체 제작공정에서 여러 종류의 가스를 흡입하여 웨이퍼의 증착에 이용하게 되는데 각각의 과정에서 요구되는 진공도를 유지하기 위하여 사용되는 것이 드라이 진공펌프이다. 이때 사용되는 질소가스의 흡입압력에 의해 발생되는 진공도의 변화에 따른 진공펌프의 소음 특성을 실험을 통해 분석하였다.

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