Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2002.07a
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- Pages.46-47
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- 2002
Effect of partial sintering of silicate soots on refractive index of the silcate glass films deposited by FHD Process
FHD 공정으로 Si wafer에 증착된 silicate soot의 부분 소결 처리가 굴절률 변화에 미치는 영향
Abstract
Flame Hydrolysis Deposition (FHD) 공정은 SiC1
Keywords