Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Fabrication of $Er^{3＋}/Yb_3$ co-doped Soda-lime Glass Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Method and Optical Property Characterization

RF 마그네트론 스퍼터에 의해 제조된 $Er^{3＋}/Yb_3$ 도핑된 소다 라임 유리 박막의 제조 및 광학적 특성평가

  • 임종모 (전남대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 김미옥 (전남대학교 공과대학 신소재공학) ;
  • 이병택 (전남대학교 공과대학 신소재공학) ;
  • 문종하 (전남대학교 공과대학 신소재공학) ;
  • 김진혁 (전남대학교 공과대학 신소재공학부)
  • Published : 2002.07.01
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Abstract

고상 소결법으로 715iO$_2$＋11$Na_2$O＋10CaO＋3Er$_2$O$_3$＋5Yb$_2$O$_3$(all wt%) 조성의 스퍼터용 유리 타겟을 제조하여, RF 마그네트론 스퍼터에 의해 희토류 원소가 첨가된 광증폭기용 다성분계 sodium calcium silicate 유리박막을 제조하였다. 최적의 공정조건을 얻기 위해 RF-power, 공정압력, 기판온도를 변화시키면서 박막을 제조하여 RF-power 150W, 공정압력 4mtorr, 기판온도 50$0^{\circ}C$, 타겟-기판 거리 6cm에서 타겟의 손상이 심하지 않으면서, 1.4$mu extrm{m}$/h의 최고 증착율을 가지는 양질의 박막을 제조하였다. (중략)

Keywords