Redundancy Analysis Simulation for EDS Process

EDS 공정에서 Redundancy Analysis 시뮬레이션

Memory의 공정기간은 2∼3개월 정도, 공정은 수백가지에 이를 정도로 많기에 defect은 존재할 수밖에 없다. 많은 defect이 있다면 어쩔 수 없겠지만 적은 defect이 발생한 경우에는 해당 die를 reject시키는 것보다는 repair해서 사용하는 것이 memory생산 업체 입장에서는 보다 효율적이고 원가 절감 차원에서 필수적이다. 이와 같은 이유로 laser repair라는 공정이 필요하고 laser repair공정의 정확한 target을 설정하기 위해 redundancy analysis가 필요하게 되었다. 지금까지 redundancy analysis는 장비 개발 업체에서 제공하는 경우가 대부분 이었고 각 장비 제조 업체별로 redundancy analysis algorithm을 개발하여 제공하여왔기에 동일한 defect 유형에 분석하는 redundancy analysis time이 각 장비 업체 별로 다른 경우가 대부분이었다. 이에 본 연구에서는 기존의 redundancy analysis algorithm의 개념에서 벗어나 defect 유형별로 simulation한 후 redundancy analysis를 진행함으로써 redundancy analysis에 소요되는 시간을 절약함으로써 원가 경쟁력 강화를 하고 correlation 개념을 업무에 적용하는데 목적이 있다