Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on Interfacial Characteristics of Copper Films on PET substrate Prepared by Room Temperature ECR-MOCVD

ECR 상온화학증착법에 의해 PET 표면상에 제조된 구리 박막의 계면 특성에 관한 연구

  • 현진 (한국과학기술연구원 나노환경 연구센터, 고려대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 고형덕 (고려대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 이중기 (한국과학기술연구원 나노환경 연구센터) ;
  • 변동진 (고려대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 박달근 (한국과학기술연구원 나노환경 연구센터)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

Keywords