Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.130-130
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Fabrication and characterization of Si gauge pressure sensor

게이지압 Si 압력센서의 제작 및 특성 평가

오동환 (금오공과대학교) ;
오영환 (금오공과대학교) ;
김성진 (금오공과대학교) ;
이종흥 (KEC 서울연구센타) ;
이곤재 (KEC 서울연구센타) ;
김창주 (한국기계연구원)

Published : 2002.11.01

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Abstract

Keywords