Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Structural and Optical Features of no-Si:H thin Films Prepared by PECVD Techniques

PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성

  • 심재현 (인하대학교 재료공학부) ;
  • 박명범 (육군3사관학교 신소재/시스템학과) ;
  • 한규호 (인하대학교 재료공학부) ;
  • 조남희 (인하대학교 재료공학부)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

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