Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.81-81
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Metal-organic chemical vapor deposition of $HfO_2$ films using a new precursor $Hf(MMP)_4$

$Hf(MMP)_4$원료 물질을 이용해서 증착한 MOCVD $HfO_2$ 박막의 특성 분석

박재후 (서울대학교) ;
조문주 (서울대학교) ;
박홍배 (서울대학교) ;
황철성 (서울대학교) ;
김근호 (주성 엔지니어링) ;
조복원 (주성 엔지니어링) ;
황철주 (주성 엔지니어링)

Published : 2002.11.01

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