Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.80-80
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

$SrTiO_3$ Atomic layer Deposition with $H_2O$ Plasma as an oxidant

$H_2O$ plasma를 이용한 $SrTiO_3$ Atomic Layer Deposition

권오성 (서울대학교) ;
김성근 (서울대학교) ;
황철성 (서울대학교) ;
정재학 ;
현광수

Published : 2002.11.01

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