Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.71-71
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Study on the Dry Etching Process of the Gate Electrode for Sub-$0.15\mu\textrm{m}$ Device

$0.15\mu\textrm{m}$Gate 전극용 건식 식각 공정에 관한 연구

황재희 (한양대학교) ;
안진호 (한양대학교) ;
이순우 (한양대학교) ;
함동은 (한양대학교) ;
석종욱 (삼성전자 주식회사) ;
백두현 (삼성전자 주식회사)

Published : 2002.11.01

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Abstract

Keywords