Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Boron 첨가 및 $N_2$ Plasma 처리가 Cu와 low-k 접착력에 미치는 영향

  • 이섭 (국민대학교 신소재공학부) ;
  • 고연규 (국민대학교 신소재공학부) ;
  • 이재갑 (국민대학교 신소재공학부)
  • Published : 2002.11.01
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