Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.50-50
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- 2002
Boron 첨가 및 $N_2$ Plasma 처리가 Cu와 low-k 접착력에 미치는 영향
- Published : 2002.11.01
Abstract
Keywords