한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

4H-SiC wafer의 반응성 이온 식각 공정과 분석

RIE(Reactive ion Etching) Processing and Analysis of 4H-SiC wafer

  • 발행 : 2002.11.01
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