Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.48-48
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

RIE(Reactive ion Etching) Processing and Analysis of 4H-SiC wafer

4H-SiC wafer의 반응성 이온 식각 공정과 분석

신동열 (명지대학교) ;
강수창 (KEC(한국전자)) ;
신무환 (명지대학교)

Published : 2002.11.01

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Abstract

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