Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.39-39
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- 2002
Characterization of Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film with Annealing Time using Cu-Field Aided Lateral Crystallization (FALC) Technique
Cu-FALC법을 이용한 35$0^{\circ}C$ 에서 열처리 시간에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 특성
Abstract
Keywords