Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.23-23
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- 2002
Characteristic of Pt electrode by Liquid Delivery Metalorganic Chemical Vapor Deposition using Pt(EtCp)Me$_3$ for Thin Film Battery Collector
박막전지용 Collector를 위해 Pt(EtCp)Me$_3$ 를 이용 액체 운반 화학 기상 증착법을 이용한 Pt전극의 특성연구
Abstract
Keywords