Characteristic of Pt electrode by Liquid Delivery Metalorganic Chemical Vapor Deposition using Pt(EtCp)Me$_3$ for Thin Film Battery Collector

박막전지용 Collector를 위해 Pt(EtCp)Me$_3$를 이용 액체 운반 화학 기상 증착법을 이용한 Pt전극의 특성연구

  • Published : 2002.11.01