Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.5-5
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2002

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

TiN deposition by Inductively Coupled Plasma assisted Chemical Vapor Deposition

유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착

이동각 (서울대학교) ;
이희용 (서울대학교) ;
이정중 (서울대학교) ;
주정훈 (군산대학교)

Published : 2002.05.01

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