On-chip ESD protection design by using short-circuited stub for RF applications

Short-Circuited Stub를 이용한 RF회로에서의 정전기 방지

We propose the new type of on-chip ESD protection method for RF applications. By using the properties of RF circuits, we can use the short-circuited stub as ESD protection device in front of the DC blocking capacitor Specially, we can use short-circuited stub as the portion of the matching circuit so to reduce the and various parameters of the transmission line. This new type ESD protection method is very different from the conventional ESD protection method. With the new type ESD protection method, we remove the parasitic capacitance of ESD protection device which degrade the performance of core circuit.

RF 회로에 적합한 새로운 형태의 on-chip ESD protection 방법을 제시하였다. RF 회로의 특성을 이용하여 DC blocking capacitor 앞에 short-circuited stub를 달아서 ESD 소자로 활용하였다. 특히 short-circuited stub를 매칭 회로의 일부로 사용하여 stub의 길이를 줄일 수 있다. 또한 short-circuited stub의 width와 metal의 성분으로 ESD threshold voltage를 쉽게 예측 가능하다. 기존의 ESD 방지 회로와 달리 RF 회로를 위한 ESD 방지 회로에서 문제시되던 기생 capacitance 성분에 대한 문제점을 해결 할 수 있었다.