Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

Measuring and Diagnostic System for particle and gas in Semiconductor Equipment

반도체 제조장비의 particle/gas 측정ㆍ분석 시스템

  • 황희융 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 설용태 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 임효재 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 차옥환 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 이희환 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터)
  • Published : 2002.11.01

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Abstract

In this Paper, we conducted a experimental study to measure a particle size distribution and mass spectrum with the special instrument such as ISPM and Q-MS. Also, we set up a total measuring system for monitoring the particle in the process chamber.

Keywords