Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

Process Simulation for Recovery and Recycling of Waste Chemicals Produced from Semiconductor and LCD Photo Processes

반도체 및 LCD photo 공정에서 발생되는 폐chemical의 재자원화를 위한 공정모사

  • 유홍진 (순천향대학교 공과대학 신소재화학공학부) ;
  • 이윤배 (순천향대학교 공과대학 신소재화학공학부) ;
  • 신재식 (순천향대학교 공과대학 신소재화학공학부) ;
  • 한성록 (순천향대학교 공과대학 신소재화학공학부)
  • Published : 2002.05.01

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Abstract

본 연구는 반도체 및 LCD Photo 공정에서 발생되는 폐액의 재자원화를 위한 공정설계 data와 재자원화 기술의 성능향상을 위한 기초 자료를 제공하는데 있다. 재자원화 증류탑의 설계를 위한 공정모사를 통하여 공정폐액 재자원화의 최적조건을 설계할 수 있는 기초자료를 제안하였다.

Keywords