한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

Electrical Properties of Cobalt Silicide Deposited on Poly-Si/$SiO_2$/Si Substrates

  • 발행 : 2002.05.01
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