한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

향상된 단면연마 실리콘 웨이퍼가 화학적 기계적 연마에서 나노토포그래피에 미치는 영향의 스펙트럼 분석

Spectral Analysis of The Nanotopography Effect on Oxide CMP Using Improved Single-Side-Polished Si Wafer

  • 강현구 (한양대학교 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
  • ;
  • 이원모 (한양대학교 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
  • 박재근 (한양대학교 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
  • 백운규 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2002.05.01
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