COB 구조의 강유전체 기억소자 적용을 위한 고온 내산화성 CrTiN/TiN 이중 방지막 구조의 특성 연구

Characteristics of CrTiN/TiN double barrier with high thermal stability for the COB ferroelectric memory applications

  • 발행 : 2002.05.01