한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 탄화붕소 박막의제조

Preparation of Boron Carbide Thin Films by RF Magnetron Sputtering

  • 이광은 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 김종오 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 김종희 (고기능성자성재료연구센터(ReCAMM)) ;
  • 이정영 ((주) 샘텍 종합기술연구소) ;
  • 박명진 ((주) 샘텍 종합기술연구소) ;
  • 이천배 ((주) 샘텍 종합기술연구소)
  • 발행 : 2002.05.01
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