한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착

Deposition of ITO Thin Film for Organic EL Display by RF Magnetron Sputtering

김규현 (요업기술원) ;
최균 (요업기술원) ;
최의석 (요업기술원) ;
황정태 (알파디스플레이)

발행 : 2002.05.01

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