Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
- /
- Pages.59-59
- /
- 2002
Oxidation behaviors and barrier properties of TiAIN thin films for high density memory devices
고밀도 메모리 소자를 위한 TiAIN 박막의 산화거동과 방지막 특성
Abstract
Keywords