한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

마이크로 적외선 센서 제작을 위한 초전 박막의 Ion Milling 식각

Ion Milling Etching of Pyroelectric PZT Thin Films for Micro IR Sensors

박준식 (전자부품연구원) ;
장연태 (전자부품연구원) ;
박광범 (전자부품연구원) ;
박효덕 (전자부품연구원) ;
유병곤 (한국전자통신연구원) ;
강성군 (한양대학교) ;
김승현 (이노스텍(주)) ;
전성진 (성균관대)

발행 : 2002.05.01

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