Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.36-36
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Ion Milling Etching of Pyroelectric PZT Thin Films for Micro IR Sensors

마이크로 적외선 센서 제작을 위한 초전 박막의 Ion Milling 식각

박준식 (전자부품연구원) ;
장연태 (전자부품연구원) ;
박광범 (전자부품연구원) ;
박효덕 (전자부품연구원) ;
유병곤 (한국전자통신연구원) ;
강성군 (한양대학교) ;
김승현 (이노스텍(주)) ;
전성진 (성균관대)

Published : 2002.05.01

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