Preparation and Properties of $TiO_2$ Thin Films by RF Sputtering

RF 스퍼터링에 의한 $TiO_2$ 박막의 제작 및 특성

  • 류승완 (울산대학교 수학 및 물리 기술학부) ;
  • 김태항 (울산대학교 수학 및 물리 기술학부) ;
  • 고승국 (울산대학교 수학 및 물리 기술학부) ;
  • 한성홍 (울산대학교 수학 및 물리 기술학부)
  • Published : 2002.11.01