Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.196-197
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2002

Optical Society of Korea (한국광학회)

권호 표지

Real time control of Ge-Sb-Te multi-layer as optical recording media using in situ ellipsometry

In-situ Ellipsometer를 사용한 광기록매체용 Ge-Sb-Te 다층박막성장의 실시간 제어

김종혁 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
이학철 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
김상준 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
김상열 (아주대학교 분자과학기술학과)

Published : 2002.11.01

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