Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Measurement of Optical Properties of Ultrathin Gate Oxide Films by Spectroscopic Ellipsometry

분광타원계측에 의한 극미세 산화막의 광특성 측정

  • 조현모 (한국표준과학연구원 광기술표준부)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

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