Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
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- Pages.158-164
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- 2002
A Study on the Growth of Carbon Nanotube by ICPHFCVD and their I-V Properties
ICPHFCVD법에 의한 탄소나노튜브의 생장 및 I-V 특성에 관한 연구
Abstract
본 연구에서는 탄소나노튜브를 직류 바이어스가 인가된 유도결합형 플라즈마 열선 화학기상증착 장치를 이용하여 58
Keywords