Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Fabrication and characterization of Biological mass detecing system using PZT microcantilever

PZT 마이크로 켄틸레버를 이용한 생체 물질 무게 감지 소자의 제작 및 분석

  • Lee, Jeong-Hoon (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
  • Hwang, Kyo-Seon (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
  • Kang, Ji-Yoon (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
  • Kim, Sang-Ho (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
  • Ahn, Se-Young (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.) ;
  • Kim, Tae-Song (Korea Institute of Science and Technology, Solco biomedical Co.)
  • 이정훈 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
  • 황교선 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
  • 강지윤 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
  • 김상호 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
  • 안세영 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼) ;
  • 김태송 (한국과학기술연구원, (주)솔고바이오메디칼)
  • Published : 2002.07.10
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

MEMS 공정을 이용하여 $SiN_x$를 지지층으로 한 $SiO_2$/Ta/PZT/Pt 의 박막 구조를 가지는 마이크로 켄틸레버를 제작하였다. 켄틸레버의 전기기계적 특성을 LDV (레이저 미소 변위 측정기)를 이용하여 측정하였으며, 이를 통해 전기기계적 거동을 분석하였다. 또한 무게 감지소자로서의 응용을 위해 Au의 증착을 통한 감도를 측정하였으며, streptavidin의 무게를 감지하기 위해 immobilization 공정을 거쳐 thiol 그룹 및 biotin을 표면에 고정화 시킨후 biotin-streptavidin 결합에 의한 전기기계적 신호 분석을 통해 생체 물질의 무게 감지 소자로의 응용을 평가하였다.

Keywords