Anode Characteristics of Cobalt Oxide Thin Films for Microbattery Fabricatied by rf Magnetron Sputtering

  • 유경창 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 이기령 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 문희수 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 박종완 (한양대학교 신소재공학부)
  • Published : 2002.04.01