TFT-LCD장치를 위한 multi-layer gate metal 식각 특성에서 유도결합형 플라즈마의 gas chemistry 효과

  • 송병관 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2001.07.05