한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과

  • 정민재 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2001.07.05
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