유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구

• 방상봉 (동아대학교 신소재물리학과) ;
• 이민정 (동아대학교 신소재물리학과) ;
• 전영미 (동아대학교 신소재물리학과) ;
• 강명석 (동아대학교 신소재물리학과) ;
• 강병진 (동아대학교 신소재물리학과) ;
• 김용 (동아대학교 신소재물리학과) ;
• 정태훈 (동아대학교 신소재물리학과)

• Bang, Sang-Bong ;
• Lee, Min-Jeong ;
• Jeon, Yeong-Mi ;
• Gang, Myeong-Seok ;
• Gang, Byeong-Jin ;
• Kim, Yong ;
• Jeong, Tae-Hun

• 발행 : 2001.07.05

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