Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
- /
- Pages.155-155
- /
- 2001
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
- Bang, Sang-Bong ;
- Lee, Min-Jeong ;
- Jeon, Yeong-Mi ;
- Gang, Myeong-Seok ;
- Gang, Byeong-Jin ;
- Kim, Yong ;
- Jeong, Tae-Hun
- 방상봉 (동아대학교 신소재물리학과) ;
- 이민정 (동아대학교 신소재물리학과) ;
- 전영미 (동아대학교 신소재물리학과) ;
- 강명석 (동아대학교 신소재물리학과) ;
- 강병진 (동아대학교 신소재물리학과) ;
- 김용 (동아대학교 신소재물리학과) ;
- 정태훈 (동아대학교 신소재물리학과)
- Published : 2001.07.05
Abstract
Keywords