국제규격에 기인한 저진공펌프의 성능평가방법 고찰

  • 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정완섭 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 이완형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2001.07.05